MTCVD

Iz Wikipedije, proste enciklopedije

Črka Wiki

Ta članek (oz. del članka) je slogovno neurejen. Pomagajte nam ga urediti
Po končanem delu sporočilo odstranite.


MTCVD

MTCVD je postopek kemičnega nanašanja iz parne faze pri zmernih temperaturah (700-900 ºC) za izdelavo trdih prevlek. Možno je tudi nanašanje pri 600ºC, vendar je pri tej temperaturi nanašanje počasno. Izvor C in N so trimetilamin, dimetilhidrazin, acetonitril in cianovodik. Zaradi hitrega nanašanja lahko dosežemo velike debeline, kar omogoča naknadno poliranje prevlek. MTCVD postopek lahko uporabljamo pri istih materialih kot CVD postopek, poleg tega pa zaradi nižjih temperatur še pri bakru in njegovih zlitinah, keramiki, stelitih, steklu ter poroznih materialih.