MEMS

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그림:Nanogearandbug.jpg
MEMS 기술로 만든 기어 옆에 진드기가 있다. 자료제공 Sandia National Laboratories, SUMMiTTM Technologies, www.mems.sandia.gov

MEMS(Microelectromechanical Systems의 약어)는 미세 기술로서 기계 부품, 센서, 액츄에이터, 전자 회로를 하나의 실리콘 기판 위에 집적화 한 디바이스를 가리킨다. 주로 반도체 집적회로 제작 기술을 이용해 제작되지만 반도체 집적회로에서 평면을 가공하는 프로세스로 제작할 때 입체 형상을 형성할 필요가 있어 반도체 집적회로의 제작에는 사용되지 않는다. 에칭이라 불리는 제작 프로세스가 포함된다. 현재 제품으로서 시판되고 있는 것으로서는 잉크젯 프린터의 헤드, 압력 센서, 가속도 센서, 자이로스코프, 프로젝터 등 이 있다. 시장규모도 확대하고 있어 응용 분야가 다방면에 걸쳐 있기 때문에 시장은 규모가 확대되고 있다. 이 때문에 제2의 DRAM이라고도 말하고 있다.

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