ALD-reaktori

Wikipedia

Tämä artikkeli käsittelee ALD-reaktoria. ALD on myös Adrenoleukodystrofiasta käytetty lyhenne

ALD-reaktori (Atomic Layer Deposition), ALE (Atomic Layer Epitaxy) on kemiallinen menetelmä ohutkalvojen muodostamiseen. Tämä Suomessa kehitetty laite kykenee pinoamaan atomeja kerroksiin.

ALD-reaktorissa lähtöaineet tuodaan substraatin pinnalle pulsseissa vuoroittain ja annetaan reagoida. Tällä tavalla voidaan kasvattaa haluttu kalvo atomikerroksen tarkkuudella.

ALD-ohutkalvoja voidaan käyttää mikroelektroniikassa, kuten tietokoneissa.

[muokkaa] Aiheesta muualla


Tämä kemiaan liittyvä artikkeli on tynkä.
Voit auttaa Wikipediaa laajentamalla artikkelia.
Muilla kielillä